確定高效過濾器本身及其安裝是否有明顯的滲漏，必須在現場對以下幾處進行測試：過濾器的濾材;過濾器的濾材與其框架內部的連接;過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間;支撐框架和墻壁或頂棚之間。檢測儀器有兩種，一種是氣溶膠光度計，另一種是粒子計數器，高效過濾器檢漏中常用的檢測儀器是氣溶膠光度計(以下簡稱光度計)，是一種前散射線性光度計，它由真空泵、光散射室、光電倍增管、信號處理轉換器和微處理器等組成。
用塵埃粒子計數囂檢測高效過濾器是否有泄漏現象，來避免高效空氣過濾器泄漏而影響到整個的生產。主要是檢測各點的懸浮粒子是否超出潔凈區要求的范圍，如果是則有泄漏現象，需堵漏或更換。這也是比較簡單準確的的操作方法。高效過濾器安裝或更換后，必須對過濾器的安裝連接處進行檢漏，以確保潔凈室的潔凈度符合要求。
主要應用的是光散射原理，計數測定時利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數量，并加以分析累計及數字顯示。實驗前要求溫度控制在18—26℃ ;相對濕度控制在45—65%。室內測試人員不得多于2人。針對室內不同潔凈度房間而言，靜壓差≥5Pa，潔凈區與非潔凈區之問靜壓差≥10Pa;對工藝過程中產塵量大的房間與其他房間應保持相對負壓。有了這些客觀條件，接下了就要進行實際步驟:
1.將
空氣粒子計數器用注射用水及75%酒精擦試消毒后再經紫外線照射30分鐘傳入潔凈區。
2.將粒子計數器水平位置放在桌上。測量塑料管端口接插在過濾器的接嘴上。
3.打開電源。儀器進行自檢、選項后，把測量塑料管從后面板上拔下。端口放置在需要測量的位置。
4.檢測時采樣頭離高效過濾器2—4cm，沿高效過濾器內邊框及中間緩慢掃描，每塊高效過濾器至少測試出5個點，觀察顯示數據。
測試完畢后，將采樣塑料管端口接到空氣粒子計數器后面板上進行自檢。然后關閉電源。用空氣粒子計數器測定百級潔凈區高效過濾器結果。通過以上測定就可以看出高效過濾器是否有泄漏現象。是否需進行堵漏或更換，過濾器修理或更換后必須重新進行測試。
建議的最長時間間隔為24個月。DOP檢漏在HEPA安裝或更換后都應進行。當環境監測顯示空氣質量惡化、或當產品無菌試驗不合格、培養基模擬灌裝試驗失敗時，都可作為偏差調查的一部分進行檢漏、需進行檢漏試驗的濾器還包括烘干隧道和干烤箱所使用的HEPA。
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